텅스텐 필라멘트 주사 전자 현미경, Eco. SEM, 15x~250000x
제품 설명
A63.7062 텅스텐 필라멘트 주사 전자 현미경, 에코. SEM | ||
해결 | 4.5nm@30KV(SE); 6nm@30KV(BSE) | |
확대 | 음의 배율: 15x~250000x; 화면 배율: 30x~500000x | |
전자총 | 텅스텐 가열 음극-전 중심 텅스텐 필라멘트 카트리지 | |
가속 전압 | 0~30KV | |
렌즈 시스템 | 3단 전자파 렌즈(테이퍼 렌즈) | |
대물 조리개 | 몰리브덴 조리개 조정 가능한 외부 진공 시스템 | |
표본 단계 | 다섯 축 스테이지 | |
여행 범위 | X(자동) | 0~50mm |
Y(자동) | 0~50mm | |
Z(수동) | 0~25mm | |
R(수동) | 360o | |
T(수동) | -5o~90o | |
최대 시편 직경 | 150mm | |
탐지기 | SE: 고진공 2차 전자 검출기(검출기 보호 포함) | |
가감 | Stage Upgrade;EBL;STM;AFM;Heating Stage;Cryo Stage;Tensile Stage;Micro-nano Manipulator;SEM+Coating Machine;SEM+Laser | |
부속품 | CCD, LaB6, X선 검출기(EDS), EBSD, CL, WDS, 코팅기 | |
진공 시스템 | 터보 분자 펌프, 회전 펌프 | |
전자빔 전류 | 10pA~0.1 |
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